一股洁净室特有的、混杂着臭氧和电子设备运转的味道扑面而来。
车间中央，一台巨大的金属构架沉默地矗立着。
它像一头未完工的钢铁巨兽，无数复杂的管线和精密的金属部件裸露在外，几名工程师正像蚂蚁一样，蹲在它的底座旁，专注地进行着调试。
“这就是我们正在研发的分布式投影光刻机。”
贺天成的声音隔着口罩，显得有些发闷，但语气里的那份投入，谁都听得出来。
马宇腾走近几步，目光扫过那些复杂的机械结构和线缆布局。
“进度到哪一步了？”
贺天成领着他走到一旁的操作台，指着屏幕上跳动的数据流。
“按计划，明年能出第一台原型机。机械组装和控制系统的框架基本成型，现在最卡脖子的，是核心零部件。”
他话音一顿，手指向了设备深处一个空置的模组位置。
“尤其是光源，完全依赖进口，人家给什么，我们就得用什么。”
参观结束，众人回到会议室。
摘下口罩，贺天成脸上那股子技术人特有的执拗和疲惫才显露出来。
马宇腾没绕圈子，直接抛出了一个问题。
“贺总，对于EUV技术，你们怎么看？”
贺天成明显愣了一下，旋即苦笑起来，摆了摆手。
“马总，咱们得脚踏实地啊。”
他叹了口气，像是要把胸中的郁结之气都吐出来。
“国内的光源技术跟国外差着几代呢。别提EUV了，就是现在主流DUV用的ArF激光光源模块，我们都造不出来。EUV那种东西，在国际上都还没有成熟，对我们来说，太遥远了。”
马宇腾扶了扶眼镜，镜片后的目光看不出情绪。
他脑中闪过一些被埋藏在记忆深处的零碎信息。
“我听说国内有一种晶体，能产生深紫外激光，相关技术在国际上是独一份的。”
“这种晶体，能不能用到光刻机光源上？”
贺天成原本有些黯淡的眼睛，瞬间亮了一下。
“马总说的是KBBF晶体？”
他站起身，像是被触动了某个开关，激动地走到会议室的白板前。
“那是科学院陈老团队的成果！他们九六年就用那玩意儿搞出了六倍频技术，能把1064纳米的激光，硬生生倍频成177