马宇腾紧跟着追问:“既然有这种好东西,为什么不用它来做光刻机的光源系统?”
“唉!”
贺天成长长叹了一口气。
“原理上,这种全固体光源比现在主流的激光等离子体光源(LPP)更稳定,更纯净,是好东西。”
“但实际操作起来,有两个要命的问题。”
“第一,这条路,跟国际主流的LPP光源路径完全是两码事。我们要是用KBBF,就要自己设计研发全套的光源系统,没有任何经验可以借鉴。”
马宇腾没说话,只是静静地看着对方。
贺天成接着又说到第二个问题。
“第二,KBBF晶体的生长技术有缺陷。它是一种层状结构,非常容易裂开,像千层饼一样。根据科学院那边的消息,他们目前还长不出能实用的大尺寸晶体,批量生产的工艺也还没有成熟。”
“没有大尺寸晶体,光强就上不去,曝光效率不够,根本达不到光刻机的要求。”
会议室里一片死寂。
张如晶的眉头也皱了起来,显然,他也听明白其中的困难。
然而马宇腾脸上却看不出半点惋惜。
他等贺天成说完,才缓缓开口。
“贺总,你说的这两个问题,换个角度看,恰恰是我们的优势。”
贺天成一脸不解地看着他。
“重新设计光源系统,就意味着我们可以彻底绕开阿斯麦和尼康他们经营了几十年的专利壁垒。我们不需要在别人的地基上盖房子,受制于人。这栋房子只要盖起来,从地基到房顶,每一块砖都是我们自己的。”
“技术缺陷,可以用钱去砸,用资源去填。量产工艺,可以靠一次次的工程实验去磨。这些都是工程问题,不是物理原理问题。只要原理走得通,工程问题早晚能解决。”
他的声音不大,却掷地有声。
“一旦解决了大尺寸晶体的问题,全固体光源的精密性和稳定性,是等离子光源拍马也赶不上的。”
“这,才是真正的弯道超车。”
贺天成张着嘴,半天没说出话来。
他被马宇腾这番话震住了。
这些年,他听了太多“困难”“瓶颈”“差距”,却没想到这些还能转换成“优势”。
一旁的张如晶看着马宇腾,眼神里多了一丝探究。
马宇腾转头,目光落在贺天成身上。
“KBBF晶体的事,我去想办法对接