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    接下来是产业现状分析。
    马宇腾用三个段落,勾勒出了2006年东大半导体设备产业的全貌。
    光刻机领域:魔都微电子是唯一一家具备整机研制能力的企业,但其研发的分布式投影光刻机尚处于原型机阶段,制程水平停留在280纳米,与国际主流的90纳米量产水平相差三代以上。
    核心零部件如光源系统、高精度物镜组、双工件台等,几乎全部依赖进口。
    蚀刻机领域:东微半导体刚刚起步,第一代介质蚀刻机尚未完成全部验证测试。与国际巨头应用材料、泛林半导体的技术仍有不小的差距。
    薄膜沉积和离子注入领域:国内没有任何一家企业具备成熟的研发能力。
    三段话写完,马宇腾停了下来。
    他盯着屏幕,手指悬在键盘上方。
    议案的第三部分是建议措施。
    这一部分他反复斟酌了很久。
    太保守,等于白写。
    太激进,会被认为不切实际。
    最终他落笔,列出了四条具体建议。
    第一,建议国家设立半导体设备专项研发基金,初期规模不低于五十亿元。这笔钱不撒胡椒面,集中投向光刻机、蚀刻机、薄膜沉积三个卡脖子环节。
    第二,建议鼓励和支持国内科研机构与设备企业开展联合攻关。他特别提到了KBBF晶体在光刻机光源领域的应用潜力,建议科学院与魔都微电子建立协作机制,探索具有自主知识产权的全固态深紫外光源技术路线。
    第三,建议制定半导体设备国产化替代时间表,要求国内芯片制造企业在采购设备时,优先考虑国产替代方案。
    第四,建议放宽半导体设备领域的人才引进政策,对海外归国的高端技术人才,在户口、住房、科研经费等方面给予特殊支持。
    写到第四条时,尹仕尧的面孔浮现在他脑海里。那个放弃了硅谷优渥待遇、带着三十多人回国创业的男人,现在还在张江的洁净室里,跟专利壁垒死磕。
    这些人不该被亏待。
    马宇腾把第七稿通读了一遍,又逐字逐句地修改了两个小时,然后发给陈闯天。
    凌晨一点,手机震了。
    陈闯天的短信回复发了过来:我觉得写得很好,应该会引起有关领导重视。
    马宇腾放下手机,摘掉眼镜,用拇指和食指捏了捏鼻梁。
    窗外,京城的夜色沉沉,长安街上的路灯排成一条笔直的光带,延伸向看不见的远方。
   

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