“陈院士,我这次来,是想和您聊聊KBBF晶体。”
陈闯天的眉毛扬了一下。“哦?你们公司对非线性光学晶体也有兴趣?”
“不是对晶体本身有兴趣。”马宇腾摇了摇头,语气变得严肃。
“我是想探讨将KBBF晶体,作为高端光刻机核心光源系统的可能性。”
光刻机?
陈闯天明显愣住了。
他扶了扶眼镜,身体微微前倾,眼神里的审视意味更浓了。
“详细说说。”
马宇腾组织了一下语言,将之前与魔都微电子贺天成的交流内容,原原本本地复述了一遍。
他从当前主流DUV光刻机使用的ArF准分子激光光源讲起,谈到其存在的稳定性和纯净度问题。
接着,他引出了KBBF晶体的独特优势。
“……根据魔都微电子那边的分析,利用KBBF晶体的六倍频技术,可以制造出177.3纳米的全固态深紫外激光源。这种光源在稳定性、光束质量和维护成本上,理论上要远远优于现在主流的准分子激光。”
陈闯天的表情逐渐变得凝重。
他确实从来没有考虑过这个应用方向。
KBBF晶体的研究,最初的立项背景,是为了国家的某个重大专项,目标直指高能激光领域。
他们团队所有的精力,都放在如何提升晶体的能量转换效率和激光功率上。
至于光刻机,那是一个完全陌生的领域。
“你的想法很大胆。”陈闯天沉声说道。
“但是,把实验室里的原理,变成工业级的应用,中间隔着一道天堑。”
“是的。”马宇腾点头,他知道真正的关键问题要来了。
“贺总那边也提到了目前存在的两个核心难题。”
“第一,这是一条全新的技术路线,与阿斯麦、尼康等国际巨头走的准分子激光路线完全不同。这意味着我们需要从头开始,自主研发整套光源系统,没有任何经验可以借鉴。”
“第二,也是最致命的,KBBF晶体本身存在技术缺陷。它的层状结构导致其极易开裂,目前实验室还无法生长出能够满足光刻机功率要求的大尺寸、高质量晶体,量产工艺更是一片空白。”
马宇腾将贺天成当初的忧虑,一字不差地转述给了面前这位KBBF晶体的发明者。
办公室里陷入了长久的沉默。
陈闯天靠在沙发上,手指无意识地在膝盖上敲