他越说越激动,甚至带上了一点技术专家的傲慢。
“还有掩模版的问题,EUV会放大任何微小的瑕疵。一颗灰尘就能毁掉整个晶圆的良率。”
“在我看来,这些工程难题十年内都无解。”
“与其赌一个虚无缥缈的未来,不如继续深耕DUV光源。只要把数值孔径和多重曝光做到极致,十纳米制程也不是没有可能。”
岩本俊德深以为然。
EUV系统太复杂了,真空环境、反射镜组、高功率激光,每一个环节都是在挑战物理极限。
短期内,它不具备商业化的价值。
马宇腾看着这两位侃侃而谈,心里却有些明悟。
他终于明白,为什么在前世的记忆里,尼康和佳能最终会在高端光刻机市场彻底消失。
他们太迷信自己在光学领域的积累,试图用战术上的精进,去对抗战略上的代差。
他们引以为傲的精密机械和镜头组,在EUV这种降维打击面前,将毫无还手之力。
更关键的是,马宇腾还想到了这背后的地缘逻辑。
这些脚盘国厂商虽然技术底蕴深厚,但终究绕不开花旗国那个‘大爹’。
一旦未来博弈升级,接到花旗国命令的尼康和佳能,这两家公司恐怕会比ASML更早对东大企业进行断供。
靠人不如靠己。
马宇腾在笔记本上随手划了一道杠。
目前的战略时机十分关键,东大与花旗国的关系尚处在蜜月期的余温中。
他可以利用脚盘国厂商对阿斯麦的危机感,诱导他们进入浸没式赛场。
只要尼康和佳能入局,光刻机市场短期内就不再是阿斯麦一家独大。
这种制衡,能为国内光刻机技术的自主研发争取到最宝贵的时间窗口。
“既然两位对EUV有保留意见,那我们还是回到务实的层面。”
马宇腾站起身,结束了这次会谈。
“期待尼康和佳能的评估结果。希望下次见面,我们谈的是关于浸没式光刻机的采购订单。”
送走脚盘国代表团后,张如晶拉住马宇腾,眉头紧锁。
“马总,你真觉得他们能指望得上?”
马宇腾看着窗外魔都繁华的街景,目光深邃。
“张老,他们只是我们手里的盾,用来挡住阿斯麦的刀。至于我们自己的剑,还得靠我们自己磨。”
张如晶收回投向窗外的视线,落在马宇腾身上。