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制不住,出现大量的‘脚丫’缺陷。”
    他又切换到另一张电子显微镜下的扫描图片,图片上,本该是笔直的线条,底部却出现了不规则的凸起,如同人的脚丫。
    “我们尝试了调整刻蚀气体的配比,优化等离子体的功率,甚至更换了光刻胶的供应商,但效果都不理想。”
    “还有铜互连工艺。”肖光楠的声音愈发沉重。
    “130纳米开始,必须使用电阻率更低的铜来代替铝作为互连线。”
    “但铜原子非常容易在硅片中扩散,造成器件失效。我们需要沉积一层足够致密且均匀的阻挡层,比如氮化钽。”
    “但我们新采购的尼康光刻机,和原有的PVD(物理气相沉积)设备,在工艺整合上出现了匹配问题。”
    “老师傅们的经验都在原有的设备体系上,对于这套新的组合,他们也需要时间摸索。”
    肖光楠一口气说了很多,全是专业的技术术语。
    马宇腾安静地听着,没有打断。
    他虽然不是半导体制造的专家,但凭借着两世的知识储备和对产业链的理解,他能听懂肖光楠话里的核心。
    缺的不是设备,也不是理论,而是将理论和设备结合起来,实现稳定大规模量产的实践经验。
    也就是“Know-how”。
    这支从摩托罗拉继承过来的团队,在180纳米的阵地上是经验丰富的老兵。
    但到了130纳米这条新的战壕里,他们也成了需要摸着石头过河的新兵。
    而那些年轻的工程师,现在还处在“看”和“学”的阶段,指望他们解决这种级别的难题,无异于天方夜谭。
    这就是雷霆芯片目前最大的瓶颈。
    “所以,你们的结论是什么?”马宇腾问。
    肖光楠沉默了片刻,似乎在组织语言。
    他关掉了白板上的技术图表,转过身,郑重地看着马宇腾。
    “马总,闭门造车是行不通的。半导体制程的提升,每一步都是在烧钱和烧时间。”
    “我们或许花上一年,甚至更久的时间,也能把良率啃下来。但是,市场等不了我们那么久。”
    他停顿了一下,抛出了自己的建议。
    “据我所知,国内的东芯国际,他们的130纳米制程,早在两年前就已经实现了稳定量产,现在听说良率已经能做到百分之九十五以上,在国际上也属于是比较先进的水平。”
    “我的建议是,我们是否可以尝试,以技术交流的名义

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