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一个数据,等着抓他的破绽。
    这场发布会,已经被全世界架到了火上。
    下午两点整,灯光骤然暗下。
    一道光束打在舞台上,苏宇一身黑色西装,缓步走上台。
    没有废话,他开门见山:“我知道,过去二十四小时,全世界都在说星辰光刻是个骗局。”
    会场里响起一阵低低的骚动。
    “今天这场发布会,我只回答一个问题——”苏宇顿了顿,目光扫过全场,声音掷地有声,“龙国,到底能不能造出EUV?”
    “我的答案是:能。而且,我们要造的,不是艾斯摩尔那种3纳米、5纳米的EUV。我们要造的,是全球第一台0.5纳米EUV光刻机。”
    全场哗然。
    “0.5纳米?!”前排一位外国记者当场站了起来,“苏先生,您在开玩笑吗?艾斯摩尔最先进的EUV,目前量产精度也只有3纳米。0.5纳米,那是物理极限!”
    “物理极限?”苏宇笑了,按下遥控器。他身后巨大的屏幕上,缓缓展开了一张复杂的工程蓝图——极紫外光源腔体、多层膜反射镜阵列、双工件台纳米级定位系统、整机装配爆炸图,标注精确到微米级的公差参数,密密麻麻的工艺路线铺满整个屏幕。
    “各位,请看大屏幕。”苏宇的语速不快,却字字清晰,“这是星辰光刻EUV-001的完整技术蓝图。极紫外光源波长13.5纳米,出光功率500瓦,双工件台定位精度0.1纳米,光学系统分辨率0.5纳米。”
    “我们已经在光源腔体设计上,采用了全新的等离子体约束方案,解决了高功率下的碎屑污染问题;光学镜组采用多层膜镀膜工艺,反射率做到70%以上——这每一项数据,都比艾斯摩尔现役机型高出整整一代。”
    会场里,先是死寂,然后是此起彼伏的倒吸冷气声。
    前排的技术专家们再也坐不住了。几位龙国半导体行业的元老凑在一起,压低声音争论着屏幕上的参数:
    “出光功率500瓦?艾斯摩尔现役机型的功率才350瓦!”
    “光学分辨率0.5纳米……这个数字如果属实,那意味着艾斯摩尔一代人的技术积累,直接被跳过了!”
    “关键不是参数。”一位白发苍苍的老专家盯着蓝图,声音发颤,“是这套方案的完整性。从光源到光学到工件台,所有子系统之间没有任何断层——这说明它不是某个实验室的幻想,而是一整套已经跑通的工程方案。”
    “如果真是这样…

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